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CAA-200-1S
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Compact Alignment Stage 특징
1. X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동
2. Compact Size
3. 3D Encoder option 고정밀도 구현
4. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러 사용으로 통합시스템 솔루션 제공
HAA-450
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Compact Alignment Stage 특징
1. X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동
2. Compact Size
3. 3D Encoder option 고정밀도 구현
4. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러 사용으로 통합시스템 솔루션 제공
CAA-175-1S
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Compact Alignment Stage 특징
1. X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동
2. Compact Size
3. 3D Encoder option 고정밀도 구현
4. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러 사용으로 통합시스템 솔루션 제공
HAA-350
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Compact Alignment Stage 특징
1. X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동
2. Compact Size
3. 3D Encoder option 고정밀도 구현
4. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러 사용으로 통합시스템 솔루션 제공
LAA4-1000
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1. Max load Capacity 2T 이상의 고강성 stage
2. 일체형 Ball Guide Block 적용으로 고정밀도 구현
3. Q sensor(3D encorder), Drive & controller
(3D Encoder option으로 고정밀도 구현 가능)
4. 1000 x 1000mm의 Large size Stage
UCAA-140-3S
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Compact Alignment Stage 특징
1. X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동
2. Compact Size
3. 3D Encoder option 고정밀도 구현
4. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러 사용으로 통합시스템 솔루션 제공
CAA4-175-1S
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1. X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동
2. Compact Size
3. 3D Encoder option 고정밀도 구현
4. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러 사용으로 통합시스템 솔루션 제공
CAA4-200
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1. X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동
2. Compact Size
3. 3D Encoder option 고정밀도 구현
4. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러 사용으로 통합시스템 솔루션 제공
CAA4-300
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1. X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동
2. Compact Size
3. 3D Encoder option 고정밀도 구현
4. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러 사용으로 통합시스템 솔루션 제공
