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CAA-300
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Compact Alignment Stage 특징
1. X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동
2. Compact Size
3. 3D Encoder option 고정밀도 구현
4. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러 사용으로 통합시스템 솔루션 제공
CAAR-175
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Compact Alignment Stage 특징
1. X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동
2. Compact Size
3. 3D Encoder option 고정밀도 구현
4. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러 사용으로 통합시스템 솔루션 제공
CAAR-200
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Compact Alignment Stage 특징
1. X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동
2. Compact Size
3. 3D Encoder option 고정밀도 구현
4. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러 사용으로 통합시스템 솔루션 제공
CAAR-300
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Compact Alignment Stage 특징
1. X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동
2. Compact Size
3. 3D Encoder option 고정밀도 구현
4. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러 사용으로 통합시스템 솔루션 제공
CAA-175-3S
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Compact Alignment Stage 특징
1. X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동
2. Compact Size
3. 3D Encoder option 고정밀도 구현
4. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러 사용으로 통합시스템 솔루션 제공
CAA-200-3S
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Compact Alignment Stage 특징
1. X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동
2. Compact Size
3. 3D Encoder option 고정밀도 구현
4. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러 사용으로 통합시스템 솔루션 제공
