Motorized Stage

홈home > Motorized Stage > Align Stage > CAA(제품상세보기)

이미지상세보기
CAA-200
Compact Alignment Stage 특징
1. X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동
2. Compact Size
3. 3D Encoder option 고정밀도 구현
4. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러 사용으로 통합시스템 솔루션 제공

 

SPECIFICATION

CAA-200-1S

CAA-200-3S

SPECIFICATION

CAA-200-1S

CAA-200-3S

Table Dimension(mm)

200x200

Parallelism(mm)

0.03

Travel Range(mm)

(X방향/Y방향방향)(주1)

±7 / ±7 / ±6º

Running parallelism(mm)

0.01

Travel Guide

Ball screw Φ8
Lead 1mm

일체형 Ball guide

Ball screw Φ8

 Lead 1mm

Cross roller guide

Load Capacity(kg)

50

Material

Aluminum

Max Speed

10mm /sec(5kHz)

Weight(kg)

8

Ball Screw Grade(주2)

C5(C7)

Motor Model

17HD4022-10N
(2P Bi-Polar STEP
Motor)

Accuracy(㎛)

10(12)

7(12)

Drive/Controller Model

MMDC-ST466

Uni-Repeatability(㎛)

±0.5(±1.5)

±0.5(±1.5)

Sensor

1 Home Sensor, 2 Limit Sensor

Bi-Repeatability(㎛)

±4(±5)

±1.5(±3)

Connector Spec.

HR-10A-10J-12P(Male)(HRS)

주1 : 회전량은 스테이지의 중앙 위치에서만 만족합니다. 직선이동 후 회전시 회전량을 만족하지 못합니다.

주2 : 볼나사의 등급 선택가능합니다. C5등급 적용 시 정밀도 스펙은 괄호( )안의 수치와 같습니다.