Motorized Stage

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HAA-450
Compact Alignment Stage 특징
1. X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동
2. Compact Size
3. 3D Encoder option 고정밀도 구현
4. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러 사용으로 통합시스템 솔루션 제공

 

SPECIFICATION

 

 

 

Table Dimension(mm)

450X450

Parallelism(mm)

0.05

Travel Range(mm)

(X방향/Y방향방향)(주1)

±10 / ±10 / ±2.5º

Running parallelism(mm)

0.01

Travel Guide

Ball screw Φ14
Lead
2mm

일체형 고강성 Ball guide

Load Capacity(kg)

2100

Material

Aluminum

Max Speed

10mm /sec(5kHz)

Weight(kg)

55

Ball Screw Grade(주2)

C5(C7)

Motor Model

23HS2068-04N
(2P Bi-Polar STEP
Motor)

Accuracy(㎛)

10(20)

Drive/Controller Model

MMDC-ST466

Uni-Repeatability(㎛)

±0.5(±1)

Sensor

1 Home, 2 Limit Sensor

Bi-Repeatability(㎛)

±4(±7)

Connector Spec.

HR-10A-10J-12P(Male)(HRS)

 주1 : 회전량은 스테이지의 중앙 위치에서만 만족합니다. 직선이동 후 회전시 회전량을 만족하지 못합니다.

 주2 : 볼나사의 등급 선택가능합니다. C5등급 적용 시 정밀도 스펙은 괄호( )안의 수치와 같습니다.