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- HAA-450
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Compact Alignment Stage 특징
1. X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동
2. Compact Size
3. 3D Encoder option 고정밀도 구현
4. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러 사용으로 통합시스템 솔루션 제공
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SPECIFICATION |
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Table Dimension(mm) |
450X450 |
Parallelism(mm) |
0.05 |
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Travel Range(mm) (X방향/Y방향/Θ방향)(주1) |
±10 / ±10 / ±2.5º |
Running parallelism(mm) |
0.01 |
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Travel Guide |
Ball
screw Φ14 일체형 고강성 Ball guide |
Load Capacity(kg) |
2100 |
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Material |
Aluminum |
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Max Speed |
10mm /sec(5kHz) |
Weight(kg) |
55 |
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Ball Screw Grade(주2) |
C5(C7) |
Motor Model |
23HS2068-04N |
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Accuracy(㎛) |
10(20) |
Drive/Controller Model |
MMDC-ST466 |
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Uni-Repeatability(㎛) |
±0.5(±1) |
Sensor |
1 Home, 2 Limit Sensor |
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Bi-Repeatability(㎛) |
±4(±7) |
Connector Spec. |
HR-10A-10J-12P(Male)(HRS) |
주1 : 회전량은 스테이지의 중앙 위치에서만 만족합니다. 직선이동 후 회전시 회전량을 만족하지 못합니다.
주2 : 볼나사의 등급 선택가능합니다. C5등급 적용 시 정밀도 스펙은 괄호( )안의 수치와 같습니다.
