Motorized Stage

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AA-400
Alignment Stage 특징

1. 동일평면상에서 X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동
2. 낮은 높이로 공간절약 설계가능
3. 고정밀 위치결정 가능

 

SPECIFICATION

 

 

 

Table Dimension(mm)

400X400

Parallelism(mm)

0.04

Travel Range(mm)

(X방향/Y방향방향)(주1)

±10 / ±10 / ±2.5º

Running parallelism(mm)

0.03

Travel Guide

B/S Φ14 Lead 2mm

Cross Roller Guide

Load Capacity(kg)

80

Resolution(mm)

0.004/Pulse(Full Step)

Material

Aluminum

Max Speed

20mm /sec(5kHz)

Weight(kg)

40

Ball Screw Grade(주2)

C5(C7)

Motor Model

PK-545-NBW

(5P STEP Motor)

Accuracy(㎛)

7(12)

Drive Model

CRD5107PB

Uni-Repeatability(㎛)

±0.5(±2)

Sensor

1 Home Sensor,

2 Limit Sensor

Bi-Repeatability(㎛)

±1.5(±5)

Connector Spec.

HR-10A-10J-12P(Male)(HRS)

 주1 : 회전량은 스테이지의 중앙 위치에서만 만족합니다. 직선이동 후 회전시 회전량을 만족하지 못합니다.

 주2 : 볼나사의 등급 선택가능합니다. C7등급 적용 시 정밀도 스펙은 괄호( )안의 수치와 같습니다.