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| 번호 | 이미지 | 상세내용 |
|---|---|---|
| 3 |  |
CAA-300
Compact Alignment Stage 특징
1. X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동 2. Compact Size 3. 3D Encoder option 고정밀도 구현 4. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러 사용으로 통합시스템 솔루션 제공 |
| 2 |  |
CAA-200
Compact Alignment Stage 특징
1. X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동 2. Compact Size 3. 3D Encoder option 고정밀도 구현 4. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러 사용으로 통합시스템 솔루션 제공 |
| 1 |  |
CAA-175
Compact Alignment Stage 특징
1. X,Y,Θ축 조합의 Alignment 구동 2. Compact Size 3. 3D Encoder option 고정밀도 구현 4. 자체 정밀도 보상 제어 알고리즘을 적용한 S/W 및 드라이버 컨트롤러 사용으로 통합시스템 솔루션 제공 |
